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发明名称
SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04221823(A)
申请公布日期
1992.08.12
申请号
JP19900405279
申请日期
1990.12.21
申请人
PURAZUMA SHISUTEMU:KK
发明人
SATO JUNICHI
分类号
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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