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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0492551(U)
申请公布日期
1992.08.12
申请号
JP19900404907U
申请日期
1990.12.26
申请人
发明人
分类号
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):C23C14/48
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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