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发明名称 ESTABLISHING AND/OR EVALUATING ALIGNMENT BY MEANS OF ALIGNMENT MARKS
摘要
申请公布号 EP0205571(B1) 申请公布日期 1992.08.12
申请号 EP19860900467 申请日期 1985.12.06
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 FEATHER, MITCHELL, DOUGLAS
分类号 G03F1/00;G03B41/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/30;H01L21/67 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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