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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04221833(A) 申请公布日期 1992.08.12
申请号 JP19900404716 申请日期 1990.12.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANI SATORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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