| 发明名称 |
SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE DEVICE AND METHOD OF OBSERVATION USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04223034(A) |
申请公布日期 |
1992.08.12 |
| 申请号 |
JP19900413975 |
申请日期 |
1990.12.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKAGAWA HIDEO;NOMURA NOBORU |
| 分类号 |
H01J37/141;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/244;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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