发明名称 PHOTOELECTRIC POSITION MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04221712(A) 申请公布日期 1992.08.12
申请号 JP19910046848 申请日期 1991.03.12
申请人 DR JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 HARARUTO BERUNARUTO;ARUFUONSU SHIYUPIISU
分类号 G01D5/30;G01B11/26;G01D5/38 主分类号 G01D5/30
代理机构 代理人
主权项
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