| 发明名称 |
DELIVERY OF REACTIVE GAS FROM GAS PAD TO PROCESS TOOL |
| 摘要 |
Remote delivery system for potentially toxic moisture sensitive process gas to a point of use (e.g. CVD system). <IMAGE> |
| 申请公布号 |
US5137047(A) |
申请公布日期 |
1992.08.11 |
| 申请号 |
US19900572834 |
申请日期 |
1990.08.24 |
| 申请人 |
GEORGE, MARK |
发明人 |
GEORGE, MARK |
| 分类号 |
C23C16/455;F17C7/00;F17C13/04 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
