发明名称 THIN FILM VAPOR-DEPOSITING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04221066(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900413496 申请日期 1990.12.21
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KITAKADO HIDETO;OTA WASABURO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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