OXIDE THIN FILM GROWING APPARATUS,申请号JP19900404702-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	OXIDE THIN FILM GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH04221076(A)	申请公布日期	1992.08.11
申请号	JP19900404702	申请日期	1990.12.21
申请人	FUJITSU LTD	发明人	YAMAWAKI HIDEKI
分类号	C01B13/14;C01G1/00;C01G29/00;C23C16/30;C23C16/44;H01L39/24	主分类号	C01B13/14
代理机构		代理人
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