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发明名称 FLUID CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04220701(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900405063 申请日期 1990.12.21
申请人 TOKIMEC INC 发明人 TAKIZAWA SHINJIRO;UENO TETSUO;KIMURA TAKESHI;UZAWA MASAMITSU
分类号 G05B11/18;G05B24/02;G05D7/06;G05D16/20 主分类号 G05B11/18
代理机构 代理人
主权项
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