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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04219938(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900418910 申请日期 1990.12.19
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUNAGA TAKAHARU
分类号 H01L21/314;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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