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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04221068(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900413265 申请日期 1990.12.22
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 ISHIKURA CHIHARU;KEZUKA HIROYUKI
分类号 C23C14/24;C23C14/34 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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