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发明名称 THIN FILM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04217347(A) 申请公布日期 1992.08.07
申请号 JP19900403536 申请日期 1990.12.19
申请人 SEIKOSHA CO LTD;NIPPON PRECISION CIRCUITS KK 发明人 TANAKA SAKAE;SHIRAI KATSUO;OGIWARA YOSHIHISA
分类号 H01L21/205;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/01 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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