发明名称 PROCEDE D'AUTOALIGNEMENT DES CONTACTS METALLIQUES SUR UN DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR ET SEMICONDUCTEUR AUTOALIGNE.
摘要
申请公布号 FR2663157(B1) 申请公布日期 1992.08.07
申请号 FR19900007282 申请日期 1990.06.12
申请人 THOMSON CSF 发明人 COLLOT PHILIPPE;SCHMIDT PAUL ERICK
分类号 H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/338;H01L21/60;H01L29/78;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/52 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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