| 摘要 |
<p>Es wird ein Drucksensor zur Ermittlung von Druckwerten in Gasen und Flüssigkeiten vorgeschlagen, dessen Drucksensorelemente als Halbleiterchip (15) auf einer Unterlage (14) angeordnet und über Bondanschlüsse (17) verschaltet sind. Für eine spannungsfreie elastische Aufnahme des Halbleiterchip (15) ist vorgesehen, daß auf der Unterlage (14) ein gleichmäßig dicker Sockel (20) aus mit Füllstoff, vorzugweise Quarzmehl vermischtem Silikon aufgetragen und der Halbleiterchip (15) mit einem Silikonkleber (21) auf die Oberfläche eines solchen Silikonsockels (20) aufgeklebt ist.</p> |
