| 摘要 |
<p>Es wird ein Mikroventil in Mehrschichtenstruktur zum Schalten oder Steuern von Fluidströmen vorgeschlagen, das einen Zulauf und ein Schliesselement aufweist. Der Zulauf ist in einer ersten Schicht als mindestens eine Durchgangsöffnung ausgebildet. Das Schliesselement ist aus einer zweiten Schicht strukturiert, die auf die erste Schicht aufgebracht ist. Diese zweite Schicht (15) weist im Bereich des Schliesselementes mindestens eine weitere Durchgangsöffnung auf. Das Schliesselement ist durch insbesondere elektrische Betätigungsmittel im wesentlichen parallel zu der ersten Schicht (25) und der zweiten Schicht (15) verschiebbar, so dass in mindestens einer ersten Stellung des Schliesselementes die mindestens eine Durchgangsöffnung des Zulaufs zusammen mit der mindestens einen weiteren Durchgangsöffnung in der zweiten Schicht (15) mindestens eine Durchströmöffnung bildet. Durch Betätigen des Schliesselementes ist der Querschnitt der mindestens einen Durchströmöffnung veränderbar.</p> |
