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摘要
申请公布号
JPH04216637(A)
申请公布日期
1992.08.06
申请号
JP19900402695
申请日期
1990.12.17
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HIRASAWA MITSUO
分类号
H01L21/50
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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