| 发明名称 |
SUBMERGED JET WASHING METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04215878(A) |
申请公布日期 |
1992.08.06 |
| 申请号 |
JP19910010294 |
申请日期 |
1991.01.31 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
SHINDO TAKESHI;OKAMURA KAZUHIKO;MIYAGAWA TAKUYA;MISAWA TATSUYA |
| 分类号 |
B05B9/00;B08B3/10;H01L21/304 |
主分类号 |
B05B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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