DEPOSITING METHOD FOR THIN FILM,申请号JP19900403010-传众专利搜索

发明名称	DEPOSITING METHOD FOR THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH04216621(A)	申请公布日期	1992.08.06
申请号	JP19900403010	申请日期	1990.12.18
申请人	SEIKO INSTR INC	发明人	KAKIUCHI KOJI
分类号	C23C14/22;C23C16/44;H01L21/28;H01L21/285	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
主权项
地址