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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH04214621(A) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 JP19900401499 申请日期 1990.12.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATABE TAKUYA
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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