| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SYNTHETIC DIAMOND THIN FILM, THE ABOVE THIN FILM AND APPARATUS USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04214094(A) |
申请公布日期 |
1992.08.05 |
| 申请号 |
JP19910054775 |
申请日期 |
1991.03.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MURANAKA TADASHI;YAMASHITA HISAO;MIYADERA HIROSHI |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/27;C30B29/04 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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