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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR THIN FILM FORMATION BY SELECTIVE CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH04214623(A) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 JP19900401485 申请日期 1990.12.12
申请人 NEC CORP 发明人 UESUGI FUMIHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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