发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING EQUIPMENT |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0492992(A3) |
申请公布日期 |
1992.08.05 |
申请号 |
EP19910311811 |
申请日期 |
1991.12.19 |
申请人 |
NOVELLUS SYSTEMS, INC. |
发明人 |
MILLER, KENNETH C.;BROADBENT, ELIOT K. |
分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|