发明名称 MASTER SLICE METHOD SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04214668(A) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 JP19900402020 申请日期 1990.12.13
申请人 CLARION CO LTD 发明人 KATO KOICHI
分类号 H01L27/118;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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