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发明名称 PROCESS FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0227373(B1) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 EP19860309574 申请日期 1986.12.09
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 FUKUZAWA, TADASHI;CHINONE, NAOKI;TONOMURA, AKIRA
分类号 H01S5/00;H01L21/027;H01L21/266;H01L29/12;H01L29/772;H01S5/34 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
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