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发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04214874(A) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 JP19910064078 申请日期 1991.03.04
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KOMACHI KYOICHI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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