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摘要
申请公布号
JPH04214650(A)
申请公布日期
1992.08.05
申请号
JP19900401469
申请日期
1990.12.12
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
KAWAHARA SHOICHI
分类号
G01R1/067;G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R1/067
代理机构
代理人
主权项
地址
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