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发明名称 ATOMIC SCALE DEVICES
摘要
申请公布号 GB9213054(D0) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 GB19920013054 申请日期 1992.06.19
申请人 HITACHI EUROPE LIMITED 发明人
分类号 B82B1/00;B82B3/00;H01J37/317;H01L21/285 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
主权项
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