METHOD FOR ALIGNING FIRST AND SECOND OBJECTS RELATIVE TO EACH OTHER, AND APPARATUS FOR PRACTICING THIS METHOD,申请号EP19870301323-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR ALIGNING FIRST AND SECOND OBJECTS RELATIVE TO EACH OTHER, AND APPARATUS FOR PRACTICING THIS METHOD
摘要
申请公布号	EP0233089(B1)	申请公布日期	1992.08.05
申请号	EP19870301323	申请日期	1987.02.16
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;TOKYO KOGAKU KIKAI KABUSHIKI KAISHA	发明人	TABATA, MITSUO C/O PATENT DIVISION;TOJO, TORU C/O PATENT DIVISION;SHIMOZONO, HIROAKI
分类号	H01L21/30;H01L21/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/68	主分类号	H01L21/30
代理机构		代理人
主权项
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