多离子束高能级增强射注技术

摘要

多离子束高能级增强射注技术是金属材料表面改性高技术，是在具有离子束注入源、溅射喷涂源、热电子发射极、稳定极及工件负高压电源等的装置中实现的。处理后工件表面改性层有较宽过液层，附着性好，沉积速率高；在工件表面能沉积单元或多元金属的单层或多层的氮化物、碳化物、氮-碳化物。可用于钢材、铸铁、有色金属材料表面改性，如模具、刀具、轧辊、轴承、曲轴等；本技术无公害，有广泛应用前景。

主权项

1、一种多离子束高能级增强射注技术，是在由真空室(1)、溅射喷涂源(5)、离子束注入源(6)、工件负高压电源(8)、热电子发射极(12)、稳定极(11)、工作台(13)、靶台(15)、真空系统(14)、工件转动机构(9)、工件移动机构(10)等组成的设备装置中实现，其主要技术特征是： 以工件负高压电源(8)、热电子发射极(12)和稳定极(11)作为多离子束高能级增强射注技术系统的供电装置，产生金属离子束(16)；工件(2)加上负高压电场吸引气体离子束(7)及金属离子束(16)。