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发明名称 POLYSILICON RESONATING BEAM TRANSDUCERS AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0451992(A3) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 EP19910302715 申请日期 1991.03.27
申请人 WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 发明人 GUCKEL, HENRY;SNIEGOWSKI, JEFFREY J.
分类号 G01L1/10;B81B3/00;B81B7/00;G01L1/18;G01L9/00;H01L29/84;H01L41/08;H01S3/00;H03H3/007;H03H9/02;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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