| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING ISOPLANAR ISOLATED ACTIVE REGIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5135884(A) |
申请公布日期 |
1992.08.04 |
| 申请号 |
US19910677649 |
申请日期 |
1991.03.28 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. |
发明人 |
MILLER, ROBERT O. |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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