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经营范围
发明名称
DEPOSITION METHOD OF NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH04213830(A)
申请公布日期
1992.08.04
申请号
JP19900407155
申请日期
1990.12.10
申请人
NEC CORP
发明人
SASAOKA CHIAKI
分类号
H01L21/318
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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