发明名称 DEPOSITION METHOD OF NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH04213830(A) 申请公布日期 1992.08.04
申请号 JP19900407155 申请日期 1990.12.10
申请人 NEC CORP 发明人 SASAOKA CHIAKI
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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