发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US5135880(A) 申请公布日期 1992.08.04
申请号 US19880203662 申请日期 1988.06.07
申请人 U.S. PHILIPS CORPORATION 发明人 FISHER, CAROLE A.;PAXMAN, DAVID H.;BIRD, PHILIP H.
分类号 H01L21/8234;H01L21/8236;H01L27/04;H01L27/07;H01L27/088;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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