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发明名称
EXTERNAL APPEARANCE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04213851(A)
申请公布日期
1992.08.04
申请号
JP19900401217
申请日期
1990.12.11
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
ARAKAWA TOSHIAKI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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