发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04212437(A) 申请公布日期 1992.08.04
申请号 JP19910011955 申请日期 1991.02.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUGAHARA KAZUYUKI;IPPOSHI TAKASHI;AKIYAMA HAJIME
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/08;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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