发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04212437(A) |
申请公布日期 |
1992.08.04 |
申请号 |
JP19910011955 |
申请日期 |
1991.02.01 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SUGAHARA KAZUYUKI;IPPOSHI TAKASHI;AKIYAMA HAJIME |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/08;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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