发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04213850(A) 申请公布日期 1992.08.04
申请号 JP19900407188 申请日期 1990.12.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAEKI KATSUTOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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