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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04213840(A) 申请公布日期 1992.08.04
申请号 JP19900409744 申请日期 1990.12.10
申请人 TOSHIBA CHEM CORP 发明人 OKUNOYAMA TERU
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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