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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04213817(A) 申请公布日期 1992.08.04
申请号 JP19900401388 申请日期 1990.12.11
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 HOSAKA TAKASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/28 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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