| 发明名称 |
FORMATION APPARATUS OF COMPOUND SEMICO- DUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04213838(A) |
申请公布日期 |
1992.08.04 |
| 申请号 |
JP19910016621 |
申请日期 |
1991.02.07 |
| 申请人 |
UNIV DELAWARE |
发明人 |
ROBAATO DEI BUARIN JIYUNIA;ROBAATO DABURIYU BAAKUMAIA |
| 分类号 |
H01L21/365;C23C16/30;C23C16/448 |
主分类号 |
H01L21/365 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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