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发明名称 EVALUATING METHOD FOR MATERIAL IN VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH04210224(A) 申请公布日期 1992.07.31
申请号 JP19900401492 申请日期 1990.12.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA TOMOKO
分类号 G01N23/18;B01J3/03 主分类号 G01N23/18
代理机构 代理人
主权项
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