发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04208528(A) 申请公布日期 1992.07.30
申请号 JP19900400147 申请日期 1990.12.03
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO TETSUMASA
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址