| 发明名称 |
ELECTRON-BEAM DRAWING DEVICE AND METHOD, AND MEASURING DEVICE FOR HEIGHT OF SAMPLE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04208515(A) |
申请公布日期 |
1992.07.30 |
| 申请号 |
JP19900400009 |
申请日期 |
1990.12.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ANDO HIROZUMI;MATSUOKA GENYA;IWASAKI TERUO;TAKAHASHI HIROYUKI;YAMAGUCHI HIDENORI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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