发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04209542(A) 申请公布日期 1992.07.30
申请号 JP19900400357 申请日期 1990.12.04
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 HOSAKA TAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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