| 发明名称 |
MICROLITHOGRAPHIC RESIST CONTAINING POLY(1,1-DIALKYLSILAZANE) |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0260489(B1) |
申请公布日期 |
1992.07.29 |
| 申请号 |
EP19870112332 |
申请日期 |
1987.08.25 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
HIRAOKA, HIROYUKI |
| 分类号 |
G03C1/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/11;H01L21/027 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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