发明名称 Verfahren zur Dotierung von Halbleiterkoerpern
摘要
申请公布号 DE1271838(B) 申请公布日期 1968.07.04
申请号 DE19591271838 申请日期 1959.01.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SANDMANN DR. RER. NAT. HERBERT;DOETZER DR. PHIL. NAT. RICHARD
分类号 C25D3/44;C25D3/54;C25D7/12;H01L21/00;H01L21/288;(IPC1-7):23C17/00 主分类号 C25D3/44
代理机构 代理人
主权项
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