| 发明名称 |
ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA SOURCE AND METHOD OF OPERATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0462209(A4) |
申请公布日期 |
1992.07.29 |
| 申请号 |
EP19900905110 |
申请日期 |
1990.03.08 |
| 申请人 |
APPLIED MICROWAVE PLASMA CONCEPTS, INC. |
发明人 |
DANDL, RAPHAEL, ANTHONY |
| 分类号 |
H01L21/205;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/18;H05H1/46;(IPC1-7):B44C1/22 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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