METHOD AND APPARATUS FOR THE PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON,申请号EP19850307618-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR THE PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号	EP0180397(B1)	申请公布日期	1992.07.29
申请号	EP19850307618	申请日期	1985.10.22
申请人	ISHIZUKA, HIROSHI	发明人	ISHIZUKA, HIROSHI
分类号	C23C16/24;C01B33/02;C01B33/035	主分类号	C23C16/24
代理机构		代理人
主权项
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