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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04207020(A) 申请公布日期 1992.07.29
申请号 JP19900340152 申请日期 1990.11.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI KENYA
分类号 H01L29/73;H01L21/205;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/04;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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