| 摘要 |
<p>Production de plasma. Le dispositif de répartition d'une énergie micro-onde pour l'excitation d'un plasma à l'intérieur d'une enceinte (1) comporte un ou des applicateurs (8) placés chacun à l'intérieur d'une zone inter-aimants (11), caractérisé en ce que le ou les applicateurs (8) sont placés chacun à l'intérieur de la zone inter-aimants (11) en s'étendant en relation de distance de la surface de confinement (6) et de la paroi de l'enceinte, tout en étant positionné en dehors de la surface à champ magnétique (7) constant et d'intensité correspondant à la résonance cyclotronique électronique, de manière à assurer le confinement et la propagation de l'énergie micro-onde entre la paroi et l'applicateur, en dehors de la surface (7). Application aux traitements de surface. <IMAGE></p> |
